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耐磨复合板的热处理工艺对组织结构影响:随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400~450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。

  NM400耐磨板在500一650℃进行.得到回火索氏体组织,具有较高的强度和韧性相配合的综合力学性能。生产中把淬火后再进行高温回火的处理称为调质处理。调质处理主要用于各种重要的结构零件,使耐磨板的强度、塑性、韧性达到恰当的配合,具有良好的综合力学性能。特别是在交变载荷下工作的连杆、螺栓、螺母、曲轴和齿轮等零件。调质处理还可作为某些精密零件,如丝杠、量具、模具等的预备热处理,以减少终处理过程中的变形。调质钢调质处理后的硬度为25一35HRC。

  NM400耐磨板回火时的组织转变与正火相比.在相同的硬度下,强度、塑性和韧性均显著高于正火状态。因此,重要构件般均用调质处理。调质还常作为表面强化件的预备热处理




耐磨板的应用:(1)固体颗粒、粉体的输送:利用莱钢nm450耐磨板耐磨、耐冲击、自润滑、抗粘附、卫生、吸收冲击、消声效果佳、耐环境应力开裂性好、轻便等优点可用于各行业,如粮食、食品加工、油脂原料加工、酿酒原料、医药、建材化工、矿粉、原盐等的固体颗粒、粉末的耐磨输送,从性能上或价格上取代铁管、耐磨板、特种耐磨板、不锈耐磨板。(2)浆体输送:利用莱钢nm450耐磨板耐磨、耐冲击、自润滑、不结垢、耐环境应力开裂性好,抗内压强度高、轻便等优点,取代耐磨板和昂贵的合金耐磨板、不锈耐磨板等,用于各行业的浆体状固液混合物输送,解决输送过程中的管道磨损、腐蚀和结垢问题,如:煤炭、矿业矿浆输送、水煤浆输送、热电厂粉煤灰输送、江河湖泊疏浚、市政排污疏泥、制盐及盐化工浆体输送等。(3)流体输送:利用耐磨蚀、耐冲击、耐低温、自润滑、耐环境应力开裂性好,抗内压强度高、轻便等优点,可用于各行业的流体输送,如:化工行业各种腐蚀性介质输送;石油行业原油、成品油输送;沿海地区(含有大量含卤空气及海水对耐磨板腐蚀严重)船舶、港口用管道、海水利用;市政工程供排水。莱钢nm450耐磨板具有独特的耐低温冲击性,在寒冷环境和意外冲击力作用下和冰冻条件下,不会发生脆性破裂,因此供排水性好。(4)气体输送:莱钢nm450耐磨板具有优良的耐冲击性、耐腐蚀性、耐环境应力开裂性、抵抗快速开裂能力、柔性好,耐低温性极优、可抵抗冷冻破坏,对械振动、地基沉降或发生地震,也能承受一定程度的冲击和变形而不致断裂,因此莱钢nm450耐磨板具有较高的长期运行性,可在燃气、天燃气、液化气体或其它气体的输送中发挥重要作用。



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